출원번호 : 10-2020-0014610 (2020.02.07)
등록번호 : 10-23786190000 (2022.03.21)
특허권자 : 한남대학교산학협력단
요약 : 본 발명은 용액공정을 이용한 유연기판 위 인듐-주석 산화물의 코팅방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 폴리이미드 필름 등의 유연기재 표면에 인듐-주석 수용액을 도포하여 ITO 박막을 형성함으로써, 제조방법이 간단하고 친환경적인 동시에 ITO 박막의 코팅성, 증착효율 및 전기전도도를 향상시킬 수 있는 ITO(Indium tin oxide: 인듐 주석 산화물) 박막의 제조방법에 관한 것이다.
1020200014610
