무전해 은도금을 이용한 크랙 기반 스트레인 센서 제조방법

출원번호 : 10-2019-0014898 (출원일: 2019-02-08)

등록번호 : 10-2162135 (등록일: 2020-09-25)

특허권자 : 충남대학교산학협력단

요약 : 본 발명은 무전해 은도금을 이용한 크랙 기반 스트레인 센서 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 무전해 은도금을 통해 형성된 크랙 기반의 스트레인 센서를 각종 전자 기기, 인공피부, 웨어러블 기기에 형성시킴으로써, 미세한 진동이나 작은 변위에도 민감한 저항 변화를 제공할 수 있는 무전해 은도금을 이용한 크랙 기반 스트레인 센서 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 정밀한 인체 모션 측정이 불가능한 문제점을 개선하여 손가락 모션 측정 디바이스 혹은 팔 근육 측정 디바이스에 포함되어 구성됨으로써, 손가락 모션 혹은 팔 근육의 변화를 모니터링할 수 있는 효과를 발휘하게 된다.

대표청구항 : 무전해 은도금을 이용한 크랙 기반 스트레인 센서 제조방법에 있어서,폴리우레탄(PU) 필름을 이용하여 폴리우레탄레이어(100)를 형성하는 지지체형성단계(S100)와,무전해은도금레이어(200)가 형성될 위치에 일정 간격의 홀이 다수 형성된 PO(폴리올레핀계) 다이싱(Dicing) 테이프 마스크를 상기 폴리우레탄레이어(100)에 위치시키는 마스크준비단계(S200)와,플라즈마장치를 이용하여 상기 폴리우레탄레이어와 PO(폴리올레핀계) 다이싱(Dicing) 테이프 마스크로 이루어진 기판을 플라즈마 처리하기 위한 플라즈마처리단계(S300)와,용기에 상기 플라즈마 처리된 기판을 투입하고, 톨렌스 용액과 포도당 용액을 투입한 후, 쉐이커를 이용하여 균일하게 회전시켜 은 입자를 증착시켜 무전해은도금레이어(200)를 형성시키는 무전해은도금레이어형성단계(S400)와,상기 무전해은도금레이어가 형성된 기판을 레이저 커터를 이용하여 원하는 형상으로 절단하기 위한 절단단계(S500)와,상기 절단된 일정 크기의 무전해은도금레이어가 형성된 기판을 신장시켜 복수의 크랙을 발생시켜 크랙 기반의 스트레인 센서를 완성하는 무전해은도금스트레인센서완성단계(S600)를 포함하는 것을 특징으로 하는 무전해 은도금을 이용한 크랙 기반 스트레인 센서 제조방법.

상세링크 : http://newsd.wips.co.kr/wipslink/api/dkrdshtm.wips?skey=3520412000602