저압 플라즈마 발생 장치

기계
저압 플라즈마 발생 장치

출원번호 : 10-2015-0058230 (출원일: 2015-04-24)

등록번호 : 10-1659687 (등록일: 2016-09-19)

특허권자 : 충남대학교산학협력단

요약 : 본 발명은 저압 플라즈마 발생 장치를 제공한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 저압 플라즈마 발생 장치는 내부에 방전 공간을 구비하고 내부 표면이 절연체로 코팅되고 내측면에서 방위각 방향을 따라 구불 구불한 곡면을 가지고 도전체로 형성되고 전극 챔버; 상기 전극 챔버보다 높은 전위를 가지고 상기 전극 챔버의 중심부에 배치된 원기둥 형상의 중심 전극; 상기 전극 챔버와 정렬되어 배치되는 상부 절연 챔버; 상기 전극 챔버와 정렬되어 배치되는 하부 절연 챔버; 및 상기 전극 챔버에 RF 전력을 공급하는 RF 전원을 포함한다.

대표청구항 : 내부에 방전 공간을 구비하고 내부 표면이 절연체로 코팅되고 내측면에서 방위각 방향을 따라 구불 구불한 곡면을 가지고 도전체로 형성되는 전극 챔버;상기 전극 챔버보다 높은 전위를 가지고 상기 전극 챔버의 중심부에 배치된 원기둥 형상의 중심 전극;상기 전극 챔버와 정렬되어 배치되는 상부 절연 챔버;상기 전극 챔버와 정렬되어 배치되는 하부 절연 챔버; 및상기 전극 챔버에 RF 전력을 공급하는 RF 전원을 포함하는 것을 특징으로 하는 저압 플라즈마 발생 장치.

상세링크 : http://newsd.wips.co.kr/wipslink/api/dkrdshtm.wips?skey=3516402000962