마이크로 유체 기반 가변 포토마스크 및 이의 제조방법 LIQUID METAL BASED RECONFIGURABLE PHOTOMASK AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME

출원번호 : 10-2014-0188670 (2014년12월24일)

등록번호 : 10-1670429 (2016년10월24일)

특허권자 : 한밭대학교

요약 : 본 발명은 마이크로 유체 기반 가변 포토마스크 및 이의 제조방법에 관한 것으로서, 중공을 형성시킨 투광성기판
과, 중공에 충진된 마이크로 유체와, 마이크로 유체를 가변시키는 가변자를 포함한다. 본 발명에 따르면, 패턴을
가변시킬 수 있으므로 다양한 포토마스크로의 이용이 가능하다.