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기판 오염물 분석 장치 및 기판 오염물 분석 방법

 

판매대리인 : 기율특허

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SKU: 인텔렉추얼 디스커버리-1775710622664 카테고리: , , , ,

출원번호 : 10-2015-0050587

등록번호 : 10-16539870000

요약 : 본 발명은 기판 오염물 분석 장치로서, 웨이퍼의 벌크를 기상 분해하여 오염물을 포집, 분석하는 기술을 제공하며, 에칭 가스 반응 공간을 구성하여 반응 효율을 개선하고, 기존 모니터 웨이퍼의 재활용도 가능하다.

1020150050587

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