서스펜디드 채널 플라즈마파 트랜지스터의 성능 평가 방법 Method for estimating performace of suspended channel plasma wave transistor

출원번호 : 10-2015-0191113 (2015년12월31일)

등록번호 : 10-1777929 (2017년09월26일)

특허권자 : 울산과학기술원

요약 :

본 발명을 서스펜디드 채널 플라즈마파 트랜지스터의 물리적 특성을 이용하여 해당 소자의 테라헤르쯔 발진 가능성을 평가하는 서스펜디드 채널 플라즈마파 트랜지스터의 성능 평가 방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 서스펜디드 채널 플라즈마파 트랜지스터의 성능 평가 방법에 있어서, 전자 표류 속도를 x축으로 설정하는 x축 설정 단계; 플라즈마파 속도를 y축으로 설정하는 y축 설정 단계; 및 전자 표류 속도에 따른 플라즈마파 속도의 관계식과 서스펜디드 채널 플라즈마파 트랜지스터의 플라즈마파 발생 조건을 이용하여 디자인 윈도우를 생성하여 소자의 동작을 판단하는 소자 성능 판단 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.