압력센서 및 압력센서의 제조방법 Pressure sensor and manufacturing method of the same

출원번호 : 10-2015-0067072 (2015년05월14일)

등록번호 : 10-1676761 (2016년11월10일)

특허권자 : 울산과학기술원

요약 :

본 발명은 연성기판, 연성기판 상면 상에 서로 이격되게 부착되어 연성기판을 접으면 서로 대향하도록 위치하는 한 쌍의 기판들, 한 쌍의 기판들이 서로 대향하도록 위치한 상태에서, 한 쌍의 기판들이 서로 이격된 상태를 유지하여 공기층을 형성하도록 한 쌍의 기판들 사이에 배치된 격벽들을 포함하고, 외부의 압력에 따라 두께가 변화함에 따라 공기층의 두께가 변화하게 하는 탄성체 및 기판에 형성되어 공기층의 두께 변화에 따른 정전용량 변화를 전기적 신호로 변환하는 정전용량 감지회로를 포함하는 압력센서를 제공한다.

따라서 압력감지용 탄성체를 전자장치와 별도로 사용하지 않고, 트랜지스터에 직접 사용함으로써 공정수를 줄일 수 있음은 물론 공정을 보다 간단하게 하여 제작비용을 절감할 수 있으며, 별도의 유전체 도포 없이 연성기판을 접어 이를 통해 생기는 공기층을 유전층으로 이용하기 때문에 제조가 용이하고, 경제적이다.