단결정 산화갈륨의 결함 평가방법

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특허권자 : 충남대학교산학협력단

요약 : 본 발명은 고가의 복잡한 장비를 사용하지 않더라도 비숙련자에 의해서도 표준화된 방법에 의해 대면적 단결정 산화갈륨 시료 중 체결함 밀도를 정성/정량적으로 평가할 수 있는 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 (A) 단결정의 관찰면을 에칭하여 에치핏을 형성하는 단계; 및 (B) 체결함에 의한 사각형의 에치핏을 선별하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 단결정 산화갈륨 시료 중 체결함의 평가 방법에 관한 것이다.

대표청구항 : (A) 단결정의 관찰면을 에칭하여 에치핏을 형성하는 단계; 및(B) 동공(void) 결함을 제외한 체결함에 의한 사각형의 에치핏을 선별하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 (001) 또는 (010) 단결정 산화갈륨 시료 중 단결정 매트릭스와 결정방향이 다른 결정립에 기인한 체결함 밀도의 정성 평가 방법.

상세링크 : http://newsd.wips.co.kr/wipslink/api/dkrdshtm.wips?skey=3521222001459