출원번호 : 10-2018-0024812 (2018.02.28)
등록번호 : 10-20748960000 (2020.02.03)
요약 : 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 유도 수열합성 및 후열처리 공정을 이용한 다공성 산화아연 나노와이어의 제조 방법은 기판의 상면에 산화아연(ZnO) 시드(seed) 층을 증착하는 단계; 상기 산화아연 시드층이 증착된 기판에 레이저를 조사하여 산화아연 나노와이어를 수열합성하는 단계; 및 상기 산화아연 나노와이어를 성장시킨 기판을 어닐링하여 다공성 산화아연 나노와이어를 제조하는 어닐링 단계;를 포함할 수 있다.
