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기판의 접합 방법 METHOD FOR BONDING SUBSTRATES

10,000,000원

판매 대리인 : 기율특허

전화번호 : 02-782-1004

메일주소 : kiyul@kiyul.co.kr

판매특허요약 : 본 발명은 기판의 접합 방법에 관한 것이다.

가격 : 1천만원(VAT별도)

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SKU: 울산과학기술원 카테고리: ,

출원번호 : 1020120053029 (2012.05.18)

등록번호 : 1014215620000 (2014.07.15)

특허권자 : 울산과학기술원

요약 :

금속 기판, 실리콘계 기판 또는 고무 기판인 제 1 기판과 제 2 기판을 접합하는 방법에 있어서, 양 기판 또는 어느 한 기판의 접합하고자 하는 표면을 산소 플라즈마로 처리하고 아미노실란으로 코팅한 뒤 서로 접촉시키는 단계를 포함하는 기판의 접합 방법은, 값비싼 장비나 급격한 온도 변화 없이 상온에서 손쉽게 기판들을 비가역적으로 접합할 수 있다.

 

 

1020120053029

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