판매대리인 : 기율특허 전화번호 : 02-782-1004 메일주소 : kiyul@kiyul.co.kr 가격 : 협의
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출원번호 : 10-2012-0096090
등록번호 : 10-12102950000
요약 : 기판 오염물 분석 장치는 기판 이송 유닛, 기상 분해 유닛, 기판 스캐닝 유닛, 분석 유닛으로 구성되어 기판 표면의 오염물을 효과적으로 포착 및 분석하며, 잔여 스캐닝 용액 제거 기능이 추가되어 있습니다.
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