나노 구조물의 제조방법, 나노 구조물 및 이를 이용하는 소자

출원번호 : 10-2012-0006859 (출원일: 2012-01-20)

등록번호 : 10-1363683 (등록일: 2014-02-10)

특허권자 : 충남대학교산학협력단

요약 : 본 발명은 나노 구조물의 제조방법 및 상기 제조방법으로 제조된 나노 구조물을 포함하는 소자에 관한 것으로, 본 발명의 나노 구조물의 제조방법은 a) 기판에 구형 입자를 배열하는 단계; b) 상기 구형 입자 상에 금속 시드층을 형성하는 단계; c) 상기 금속 시드층이 형성된 기판을 열처리하여 금속 산화물층을 형성하는 단계; 및 d) 상기 금속 산화물층이 형성된 기판을 성장 수용액에 담궈 복수개의 나노 로드를 성장시키는 단계를 포함한다.

대표청구항 : a) 기판에 구형 입자를 배열하는 단계;b) 상기 구형 입자 상에 금속 시드층을 형성하는 단계;c) 상기 금속 시드층이 형성된 기판을 열처리하여 반구형의 금속 산화물층을 형성하는 단계; 및d) 상기 금속 산화물층이 형성된 기판을 성장 수용액에 담궈 복수개의 나노 로드를 성장시키는 단계를 포함하는 나노 구조물의 제조방법.

상세링크 : http://newsd.wips.co.kr/wipslink/api/dkrdshtm.wips?skey=3514082002704