노광 장치 및 마스크 얼라이너

기계
노광 장치 및 마스크 얼라이너

출원번호 : 10-2015-0010430 (출원일: 2015-01-22)

등록번호 : 10-1607578 (등록일: 2016-03-24)

특허권자 : 충남대학교산학협력단

요약 : 본 발명은 노광 장치 및 마스크 얼라이너에 관한 것으로, 노광 장치는 기판을 지지하기 위한 스테이지; 노광 패턴을 갖는 마스크를 지지하기 위한 마스크 지지부; 및 기판에 대해 노광 처리를 하기 위한 광을 발생하는 광원을 구비한 광원부를 포함하며, 광원부는 마스크 지지부 상에 직결된다.

대표청구항 : 기판을 지지하기 위한 스테이지;노광 패턴을 갖는 마스크를 지지하기 위한 마스크 지지부; 및상기 기판에 대해 노광 처리를 하기 위한 광을 발생하는 광원을 구비하는 광원부를 포함하며,상기 광원은 상기 마스크 지지부 상에 직접 접속되며,상기 마스크 지지부는,하면에 수용홈이 형성된 마스크 홀더;상기 마스크의 균열을 방지하도록 상기 수용홈에 삽입되는 균열방지부재; 및상기 마스크 홀더의 하부에 상기 마스크를 지지하기 위한 마스크 지지부재를 포함하는 노광 장치.

상세링크 : http://newsd.wips.co.kr/wipslink/api/dkrdshtm.wips?skey=3516144000503