붕소-산화 티타늄 코어쉘 나노입자의 제조장치

기계
붕소-산화 티타늄 코어쉘 나노입자의 제조장치

출원번호 : 10-2017-0094541 (출원일: 2017-07-26)

등록번호 : 10-1920204 (등록일: 2018-11-14)

특허권자 : 충남대학교산학협력단

요약 : 붕소-산화 티타늄 코어쉘 나노입자의 제조장치가 개시되어 있다. 본 발명은, 붕소입자를 생성하기 위한 붕소생성부; TTIP(titanium tetraisopropoxide) 증기를 생성하기 위한 TTIP 증기 생성부; 상기 붕소생성부로부터 생성된 붕소 나노입자와 상기 TTIP 증기 생성부로부터 생성된 TTIP 증기를 혼합시키기 위한 코어튜브; 상기 코어튜브로부터 이송된 혼합가스를 가열하여 TTIP를 분해시켜서 붕소에 증착시키기 위한 퍼니스; 생성된 붕소-산화 티타늄 코어쉘 나노입자를 포집하기 위해 상기 퍼니스의 후방에 설치되는 스크린 메쉬필터; 상기 퍼니스 내부의 유량을 조절하기 위해 상기 퍼니스의 후단에 설치되는 진공유량제어기; 및 상기 진공유량제어기 내부의 진공상태를 유지하기 위한 작동펌프;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

대표청구항 : 붕소입자를 생성하기 위한 붕소생성부;TTIP(titanium tetraisopropoxide) 증기를 생성하기 위한 TTIP 증기 생성부;상기 붕소생성부로부터 생성된 붕소 나노입자와 상기 TTIP 증기 생성부로부터 생성된 TTIP 증기를 혼합시키기 위해, 상기 붕소생성부로부터 생성된 붕소입자를 공급하기 위한 공급도관과 버블러로부터 TTIP 증기를 공급하는 공급 도관이 합체되도록 입구측을 구성한 코어튜브;상기 코어튜브로부터 이송된 혼합가스를 가열하여 TTIP를 분해시켜서 붕소에 증착시키기 위한 퍼니스;생성된 붕소-산화 티타늄 코어쉘 나노입자를 포집하기 위해 상기 퍼니스의 후방에 설치되는 스크린 메쉬필터;상기 퍼니스 내부의 유량을 조절하기 위해 상기 퍼니스의 후단에 설치되는 진공유량제어기; 및상기 진공유량제어기 내부의 진공상태를 유지하기 위한 작동펌프;를 포함하고,상기 TTIP 증기생성부는,불활성가스인 이송가스의 공급을 제어하기 위한 제 2유량제어기; 및상기 제 2유량제어기의 후단에 설치되고, 소스물질인 TTIP(titanium tetraisopropoxide)가 충진되어 있는 버블러;를 포함하며,버블러는 그 후방으로 코어튜브에 연결되고, 버블러와 상기 코어튜브를 연결하는 도관의 외부에는 히팅테이프가 설치되는 것을 특징으로 하는 붕소-산화 티타늄 코어쉘 나노입자의 제조장치.

상세링크 : http://newsd.wips.co.kr/wipslink/api/dkrdshtm.wips?skey=3519074000746