슬릿을 구비한 대면적 용량 결합성 플라즈마 전극

출원번호 : 10-2016-0047141 (출원일: 2016-04-18)

등록번호 : 10-1777047 (등록일: 2017-09-04)

특허권자 : 충남대학교산학협력단

요약 : 본 발명의 축전 결합 플라즈마용 전극을 제공한다. 이 축전 결합 플라즈마용 전극은 RF 전력을 공급받은 디스크 형상의 중심 전극; 상기 중심 전극과 이격되고 상기 중심 전극의 배치 평면에서 상기 중심 전극과 동일한 중심축을 가지는 링 형상을 가지는 적어도 하나의 보조 전극; 및 상기 중심 전극의 배치 평면에서 상기 중심 전극과 상기 보조 전극을 연결하는 중심 전극 연결부; 를 포함한다.

대표청구항 : 축전 결합 플라즈마용 전극에 있어서,RF 전력을 공급받은 디스크 형상의 중심 전극;상기 중심 전극과 이격되고 상기 중심 전극의 배치 평면에서 상기 중심 전극과 동일한 중심축을 가지는 링 형상을 가지는 적어도 하나의 보조 전극; 및상기 중심 전극의 배치 평면에서 상기 중심 전극과 상기 보조 전극을 연결하는 중심 전극 연결부; 를 포함하고,상기 RF 전력의 주파수는 50 MHz 내지 200 MHz이고,상기 보조 전극은 하나이고,상기 전극 연결부는 90도 간격을 가지고 대칭적으로 배치되고,상기 중심 전극의 지름은 200 mm 내지 250 mm이고, 상기 보조 전극의 폭은 30 mm 내지 100 mm이고,상기 중심 전극과 상기 보조 전극 사이의 간격은 10 mm 내지 30 mm이고,서로 이웃한 상기 중심 전극과 보조 전극 사이의 형성된 원호 형태의 전극 슬릿들 중에서 적어도 하나를 채우는 도전 스페이서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 축전 결합 플라즈마용 전극.

상세링크 : http://newsd.wips.co.kr/wipslink/api/dkrdshtm.wips?skey=3517372000982