출원번호 : 10-2015-0015796 (2015년02월02일)
등록번호 : 10-1704164 (2017년02월01일)
특허권자 : 명지대학교 산학협력단
요약 : 전자파 차단 차폐막 형성 방법 및 그 장치가 개시된다. 차폐막 형성 장치는 챔버 바디; 상기 챔버 바디 내에 위치되고, 타겟 및 자기장을 발생시키는 적어도 하나의 마그넷 유닛을 포함하는 타겟 모듈; 및 상기 타겟 모듈을 스퍼터링함에 따라 피증착물의 상면과 측면들 중 적어도 하나에 차폐막 형성시 상기 피증착물을 승강시켜 이송트 레이와 분리하는 승강부재를 포함한다.
1020150015796
