압력 소자 및 그 제조 방법 PRESSURE DEVICE AND ITS FABRICATING METHOD

출원번호 : 10-2015-0089068 (2015년06월23일)

등록번호 : 10-1684133 (2016년12월01일)

특허권자 : 한밭대학교

요약 : 본 발명은 압력 소자 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 제 1 베이스막과 제 1 금속막을 포함하는 제 1 전극을 제
조하는 단계와, 제 2 베이스막과 제 2 금속막을 포함하는 제 2 전극을 제조하는 단계와, 마이크로패턴막 제조용
유리 기판 위에 유연소재 필름을 도포한 후, 마이크로패턴막 제조용 유리 기판을 분리하고, 유연소재 필름을 양
단으로 신장시킨 상태에서 상부면 및 하부면 중 적어도 하나 이상의 표면을 UVO 표면 처리한 후 릴리스시켜 주름
진 형태를 갖는 마이크로패턴막을 제조하는 단계와, 제 1 전극 및 제 2 전극의 사이에 마이크로패턴막을 접합하
여 압력 소자를 제조하는 단계를 포함함으로써, 높은 압력민감도를 가지면서 쉽게 변형된 후 원형으로 회복될 수
있도록 높은 유연성을 갖는 압력 소자를 제공할 수 있다.