영상 정보를 이용한 회로의 불량 검출 방법 및 그 제어 시스템 Method and System for detecting failure in circuit using image information

출원번호 : 10-2013-0026660 (2013년03월13일)

등록번호 : 10-1461418 (2014년11월07일)

특허권자 : 한밭대학교 산학협력단

요약 :

본 발명은 영상 정보를 이용한 회로의 불량 검출 제어 방법 및 그 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 회로의 기준 영상 및 검사 영상을 획득하여, 상기 검사 영상의 히스토그램(histogram) 극치를 보정하는 히스토그램 보정 단계(S100), 히스토그램 극치를 보정한 상기 검사 영상의 공간 위치를 보정하여 상기 기준 영상과 공간 위치를 일치시키는 공간 위치 보정 단계(S200), 획득한 상기 기준 영상을 이진화하고, 이진화한 상기 기준 영상과 공간 위치를 일치시킨 상기 검사 영상과의 차영상을 구하는 차영상 획득 단계(S300), 상기 차영상에서 가장 큰 왜곡을 갖는 화소 위치를 기준으로 침식(erosion) 연산과 팽창(dilation) 연산을 적용하여 상기 검사 영상의 이물 영역을 추출하는 이물 영역 추출 단계(S400) 및 상기 검사 영상의 이물 영역을 이용하여 특성 파라미터를 추출하고, 상기 회로의 불량을 판단하는 불량 검출 단계(S500)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 영상 정보를 이용한 회로의 불량 검출 방법에 관한 것이다.

1020130026660