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저온 하이브리드 본딩을 위한 금속층 및 절연층의 선택적 화학처리법
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출원번호 : 10-2025-0012721 (2025.01.31)
등록번호 : 10-29377690000 (2026.03.06)
요약 : 본 발명은 저온 하이브리드 본딩을 위한 금속층 및 절연층의 선택적 화학처리법에 관한 것이다.