출원번호 : 10-2018-0136692(2018년11월08일)
등록번호 : 10-2092656(2020월03월18일)
특허권자 : 명지대학교 산학협력단
요약 : 본 발명은 소자의 정보를 감지하는 프로브, 상기 프로브에 연결되어 프로브를 고정하는 프로브 홀더, 상기 프로브 홀더의 일측에 결합되어 상기 프로브 홀더의 위치를 조절함으로써 상기 소자와 프로브 간의 접촉을 조절하는 포지셔너를 포함하고, 상기 프로브는 제1 프로브 및 제1 프로브와 이격되게 구비되는 제2 프로브를 포함하며, 상기 제1 프로브에 연결되어 프로브 홀더 및 포지셔너를 거쳐 연장되는 제1 도선과, 상기 제2 프로브에 연결되어 프로브 홀더 및 포지셔너를 거쳐 연장되는 제2 도선이 저항 측정기의 제1 단자와 제2 단자에 각각 연결되는 구성을 마련한다.
본 발명에 따르면, 탐침장치는 소자와 접촉하는 프로브를 제1 프로브 및 제2 프로브의 이중 프로브로 구성하고 저항측정기를 이용하여 제1 프로브 및 제2 프로브가 소자에 접촉하는 순간의 저항값을 감지함으로써 소자의 전기적 특성 측정 시 소자의 두께 또는 형상에 관계없이 프로브가 소자에 정교하게 접촉될 수 있으므로 프로브의 손상을 최소화할 수 있어 장기간 사용가능하므로 비용을 절감할 수 있는 이점이 있다.
