전자빔 조사 장치 및 이에 의한 액정의 배향 방법

출원번호 : 10-2010-0124952 (출원일: 2010-12-08)

등록번호 : 10-1146632 (등록일: 2012-05-09)

특허권자 : 충남대학교산학협력단

요약 : 본 발명은 전자빔을 이용하여 배향막을 형성하는 전자빔 조사장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판을 고정하는 기판 홀더와 상기 기판과 소정 간격 이격하여 기판의 법선 방향에 경사지게 전자빔을 조사하는 전자빔 소스를 포함하는 전자빔 조사장치에 있어서, 상기 전자빔의 조사각도와 평행한 홀이 복수개 형성되어 있는 마스크가 상기 기판위에 추가로 장착되는 것을 특징으로 하는 전자빔 조사장치에 관한 것이다. 본 발명에 의하면 기판 상에 조사되는 전자빔의 조사각을 제한하여 진공상태가 아닌 대기 조건에서도 균일한 배향막을 형성할 수 있다.

대표청구항 : 기판을 고정하는 기판 홀더와 상기 기판과 소정 간격 이격하여 기판의 법선 방향에 경사지게 전자빔을 조사하는 전자빔 소스를 포함하여 전자빔에 의해 기판 상에 배향막을 형성하는 전자빔 조사장치에 있어서,상기 전자빔의 조사각도와 평행한 홀이 복수개 형성되어 있는 마스크가 상기 기판위에 추가로 장착되는 것을 특징으로 하는 전자빔 조사장치.

상세링크 : http://newsd.wips.co.kr/wipslink/api/dkrdshtm.wips?skey=3512202001761