박막 박리 방법 및 이를 이용한 유기전자소자의 제조방법 Method for Releasing thin film and Method for Manufacturing Organic Electronic Device

출원번호 : 10-2015-0070838 (2015년05월21일)

등록번호 : 10-1616714 (2016년04월25일)

특허권자 : 한밭대학교

요약 : 본 발명은 박막 박리 방법 및 이를 이용한 유기전자소자의 제조방법을 개시한다. 개시된 본 발명의 박막 박리 방
법은, 기판을 제공하는 단계; 상기 기판 상에 계면조절층을 형성하는 단계; 상기 계면조절층 상에 박막층을 형성
하는 단계; 상기 박막층 상에 접착필름을 형성하는 단계; 및 상기 박막층과 계면조절층 사이에 박리가스를 분사
하여, 상기 계면조절층이 형성된 기판을 분리하는 단계를 포함한다.
본 발명에 따른 박막 분리 방법을 유기전자소자 제조방법에 적용할 경우, 유기 소자의 전극층들과 유기물층들을
각각 병렬 방식으로 형성한 후, 박리 가스를 이용한 분리 및 합착 공정을 진행하여 제조 공정 시간을 단축할 수
있는 효과가 있다.