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기판 오염물 분석 장치 및 이를 이용한 오염물 분석 방법

 

판매대리인 : 기율특허

전화번호 : 02-782-1004

메일주소 : kiyul@kiyul.co.kr

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SKU: 인텔렉추얼 디스커버리-1775710679694 카테고리: , , ,

출원번호 : 10-2014-0109825

등록번호 : 10-15813760000

요약 : 기판 오염물 분석 장치는 기판 이송 유닛, 기상분해 유닛, 기판 스캐닝 유닛 및 분석 유닛으로 구성되어 기판의 오염물 스캔 및 분석을 효율적으로 수행합니다. 고유 구조의 스캔 노즐을 통해 오염물 분석 감도를 향상시킵니다.

1020140109825

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