분무열분해법에 의한 인듐 아연 주석 산화물(IZTO) 분말 제조 방법 The maufacturing method of Indium Zinc Tin Oxide(IZTO) by using Spray Pyrolysis

출원번호 : 10-2013-0067515 (2013년06월13일)

등록번호 : 10-1362124 (2014년02월06일)

가격 : 소액 (500만원 이하 협의가능)

요약 : 본 발명은 마이크로 입자크기를 가진 인듐 아연 주석 산화물(Indium Zinc Tin Oxide, 이하 ‘IZTO’라고 함) 분
말의 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 마이크로 크기의 IZTO 분말 제조를 위하여 반응용액에 유기첨
가물을 첨가하고 분무열분해법에 의해 액적으로 분무하여 중공 또는 다공성인 형태의 전구체 분말들을 제조하고,
이를 소성 및 밀링 공정을 통해 비응집성의 나노 IZTO 분말을 대량 수득하는 방법을 제공한다.