판매대리인 : 기율특허 전화번호 : 02-782-1004 메일주소 : kiyul@kiyul.co.kr 가격 : 협의
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출원번호 : 10-2018-0030089
등록번호 : 10-20578320000
요약 : 본 발명은 웨이퍼 연마용 헤드에 관한 것으로, 공압을 이용해 웨이퍼와 연마패드 사이의 간극을 조절하여 슬러리 유입량을 제어함으로써 웨이퍼 엣지 연마 평탄도를 개선하는 구조를 제공한다.
1020180030089
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