유연 압전소자 제조방법 및 이로부터 제조된 유연 압전소자

출원번호 : 10-2018-0064076 (출원일: 2018-06-04)

등록번호 : 10-2050753 (등록일: 2019-11-26)

특허권자 : 충남대학교산학협력단

요약 : 본 발명은 기판 상에 강유전물질을 포함하는 졸을 코팅하여 코팅층을 형성하는 단계; 상기 코팅층에 나노 임프린트법을 이용하여 패턴을 형성하는 패턴형상단계; 및 상기 패턴 상에 자외선을 조사하여 결정형 강유전물질층을 제조하는 경화단계;를 포함하는 유연 압전소자 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 의한 유연 압전소자 제조방법은 열처리 없이, 일정한 배열을 갖는 결정형 강유전물질을 포함하여 신뢰성이 우수한 장점이 있다.

대표청구항 : 기판 상에 강유전물질을 포함하는 졸을 코팅하여 코팅층을 형성하는 단계;상기 코팅층에 나노 임프린트법을 이용하여 패턴을 형성하는 패턴형성단계; 및상기 패턴 상에 자외선을 조사하여 결정형 강유전물질층을 제조하는 경화단계;를 포함하며,상기 결정형 강유전물질층에 포함된 결정은 동일한 방향으로 배열된 결정을 포함하는 것을 특징으로 하는 유연 압전소자 제조방법.

상세링크 : http://newsd.wips.co.kr/wipslink/api/dkrdshtm.wips?skey=3519492001218