탄소나노튜브 수평성장방법 및 이를 이용한 전계 효과 트랜지스터 (Method of Laterally Growing Carbon Nano Tubes and Field Effect Transistor Using The Same)

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특허권자 : 남서울대학교 산학협력단

요약 :본 발명은 (가)기판상에 탄소나노튜브를 성장시키기 위한 촉매 도트를 형성하는 단계, (나)상기 촉매 도트가 형성된 영역을 포함하는 다수의 나노 채널을 포함하는 희생층을 형성하는 단계 및 (다)상기 나노 채널을 통해 탄소나노튜브를 성장시키는 단계를 포함하는 탄소나노튜브 수평성장방법 및 이를 이용한 전계 효과 트랜지스터에 관한 것이다.

1020120004946