출원번호 : 10-2021-0021343 (2021.02.17)
등록번호 : 10-25072510000 (2023.03.02)
특허권자 : 한남대학교산학협력단
요약 : 본 발명은 플라즈마 공정 중 발생하는 잔류 오존 및 분해부산물을 제거하는 방법 및 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 루이스 산 및 루이스 염기를 촉매로 이용하여 플라즈마 공정 중 발생하는 오존, 질소산화물, 일산화탄소 등의 유해물질을 제거하는 방법 및 장치에 관한 것이다.
1020210021343
