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플라즈마 공정 중 발생하는 유해물질 제거방법

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판매 대리인 : 기율특허

전화번호 : 02-782-1004

메일주소 : kiyul@kiyul.co.kr

판매특허요약 : 본 발명은 플라즈마 공정 중 발생하는 잔류 오존 및 분해부산물을 제거하는 방법 및 장치에 관한 것이다.

가격 : 500만원 (VAT불포함)

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SKU: 한남대학교 산학협력단 카테고리: , , ,

출원번호 : 10-2021-0021343 (2021.02.17)

등록번호 : 10-25072510000 (2023.03.02)

특허권자 : 한남대학교산학협력단

요약 : 본 발명은 플라즈마 공정 중 발생하는 잔류 오존 및 분해부산물을 제거하는 방법 및 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 루이스 산 및 루이스 염기를 촉매로 이용하여 플라즈마 공정 중 발생하는 오존, 질소산화물, 일산화탄소 등의 유해물질을 제거하는 방법 및 장치에 관한 것이다.

1020210021343