강유전 박막층을 결합한 전하 트랩 플래시 소자의 구조 및 동작 방법(Charge trap flash with ferroelectric thin film and its operation method)

출원번호 : 10-2020-002922 (2020년01월09일)

등록번호 : 10-2266538 (2021년06월14일)

특허권자 : 한경대학교 산학협력단

요약 :

강유전 박막층을 결합한 전하 트랩 플래시 소자의 구조 및 동작 방법이 제시된다. 본 발명에서 제안하는 강유전 박막층을 결합한 전하 트랩 플래시 소자의 구조는 컨트롤 게이트(control gate), 컨트롤 게이트 하부에 위치하는 블로킹 레이어(blocking layer)의 적어도 일부를 대체하는 강유전체 레이어(ferroelectric support layer), 강유전체 레이어 하부에 위치하는 블로킹 레이어, 전하트랩 레이어 및 터널 레이어를 포함한다.

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