고유전막 및 이를 포함하는 반도체 또는 커패시터 소자 High-k Films and Semiconductor or Capacitor Devices Comprising the Film

출원번호 : 1020200071703 (2020.06.12)

등록번호 : 1024516380000 (2022.09.30)

특허권자 : 충남대학교 산학협력단

요약 :

본 발명은 유전상수가 크고 누설전류가 낮으며 절연강도가 높아 고집적 소자의 제조에 유용한 신규한 고유전막 및 상기 고유전막을 포함하는 반도체와 커패시터 소자에 관한 것으로, 보다 상세하게는 유전상수가 10 이상인 비정질 탄화수소로 이루어진 것을 특징으로 하는 고유전막 및 이를 포함하는 반도체 또는 커패시터 소자에 관한 것이다.

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