다공성 나노섬유를 이용한 가스센서 및 이의 제조방법

출원번호 : 10-2009-0124929 (출원일: 2009-12-15)

등록번호 : 10-1156672 (등록일: 2012-06-08)

특허권자 : 충남대학교산학협력단

요약 : 다공성 나노섬유를 이용하여 가스센서를 제조하는 방법 및 이에 따라 제조된 가스센서가 개시된다. 본 발명에 따른 다공성 나노섬유를 이용한 가스센서의 제조방법은 (1) 폴리머 전구체와 용매를 혼합하는 단계; (2) 상기 ‘단계 (1)의 과정을 통하여 얻어진 혼합물을 전기방사하여 나노섬유를 제조하는 단계; (3) 상기 ‘단계 (2)’의 과정을 통하여 얻어진 나노섬유를 산화시키는 단계; (4) 상기 ‘단계 (3)’의 과정을 통하여 산화된 나노섬유를 탄화시키는 단계; (5) 상기 ‘단계 (4)’의 과정을 통하여 탄화된 나노섬유를 활성화시키는 단계; 및 (6) 상기 ‘단계 (5)’의 과정을 통하여 활성화된 나노섬유를 실리콘 웨이퍼 전극 사이에 증착시켜 가스센서를 제조하는 단계;를 포함하여 이루어진다. 본 발명에 의할 경우, 상온에서도 매우 높은 감도를 가지는 신뢰성 있는 가스센서를 제조할 수 있게 된다.

대표청구항 : (1) 폴리머 전구체와 용매를 혼합하는 단계;(2) 상기 ‘단계 (1)’의 과정을 통하여 얻어진 혼합물을 전기방사하여 나노섬유를 제조하는 단계;(3) 상기 ‘단계 (2)’의 과정을 통하여 얻어진 나노섬유를 산화시키는 단계;(4) 상기 ‘단계 (3)’의 과정을 통하여 산화된 나노섬유를 탄화시키는 단계;(5) 상기 ‘단계 (4)’의 과정을 통하여 탄화된 나노섬유를 활성화시키는 단계; 및(6) 상기 ‘단계 (5)’의 과정을 통하여 활성화된 나노섬유를 분산용액에 분산시키고, 이를 실리콘 웨이퍼 전극 사이에 증착시켜 가스센서를 제조하는 단계;를 포함하여 이루어지는 나노섬유를 이용한 가스센서의 제조방법.

상세링크 : http://newsd.wips.co.kr/wipslink/api/dkrdshtm.wips?skey=3512242002699