레이저 열 캡슐레이션 방법을 이용한 유연 스트레인 센서 제작 방법

출원번호 : 10-2018-0092797 (출원일: 2018-08-09)

등록번호 : 10-2141995 (등록일: 2020-07-31)

특허권자 : 충남대학교산학협력단

요약 : 본 발명은 제1 박막 및 제2 박막을 겹친 후 제1 박막과 제2 박막에 접착제를 도포하거나 압력을 가하는 과정 없이 레이저만을 조사함으로써 절단, 패터닝 및 접합과정을 동시에 진행하여 보다 간단하게 캡슐레이션이 진행되는 레이저 열 캡슐레이션 방법을 이용한 유연 스트레인 센서 제작 방법에 관한 것이다.이를 위하여, 본 발명은 상면에 금속 박막층이 증착된 제1 박막을 준비하는 제1 박막 준비단계와, 상기 제1 박막 상부에 제2 박막을 겹쳐놓는 제2 박막 배치단계와, 레이저부가 상기 금속 박막층의 외측면을 따라 상기 제1 박막 및 상기 제2 박막에 레이저를 조사하는 레이저 조사단계를 포함하며, 상기 레이저 조사단계에서는 상기 레이저의 열에 의하여 상기 제1 박막 및 상기 제2 박막은 동시에 절단, 패터닝 및 접합과정이 진행되어 캡슐레이션 되는 것을 특징으로 하는 레이저 열 캡슐레이션 방법을 제공한다.

대표청구항 : 유연 스트레인 센서를 제작하는 방법에 있어서,제1 박막 상부에 마스크를 배치하는 마스크 배치단계;상기 마스크에 형성된 패턴에 따라 상기 제1 박막의 상면에 금속 박막층을 증착하는 금속 박막층 증착단계;상기 마스크를 제거하는 마스크 제거단계;상기 제1 박막 상부에 제2 박막을 겹쳐놓는 제2 박막 배치단계; 및레이저부가 상기 금속 박막층의 외측면과 이격된 영역을 따라 상기 제1 박막 및 상기 제2 박막에 레이저를 조사하는 레이저 조사단계;를 포함하되,상기 제2 박막 배치단계 이전에, 상기 제2 박막에 상기 금속 박막층과 정렬되는 홀을 형성하는 홀 천공단계;와상기 레이저 조사단계 이후, 상기 홀을 관통하는 와이어가 상기 금속 박막층에 연결되는 와이어 연결단계;를 더 포함하며,상기 레이저 조사단계에서는 상기 레이저의 열에 의하여 상기 제1 박막 및 상기 제2 박막의 절단, 패터닝 및 접합과정이 동시에 진행되어 상기 제1 박막과 상기 제2 박막이 캡슐레이션되며,상기 레이저 조사단계에서는 상기 제1 박막과 상기 제2 박막에 가압 없이 상기 제1 박막 및 상기 제2 박막에 레이저를 조사함으로써 상기 제1 박막과 상기 제2 박막이 캡슐레이션 되는 것을 특징으로 하는 레이저 열 캡슐레이션 방법을 이용한 유연 스트레인 센서 제작 방법.

상세링크 : http://newsd.wips.co.kr/wipslink/api/dkrdshtm.wips?skey=3520324000377