출원번호 : 10-2015-0120666 (2015년08월27일)
등록번호 : 10-1787013 (2017년10월11일)
특허권자 : 한밭대학교
요약 : 본 발명은 미세 패턴을 구현할 수 있는 롤투롤 인쇄전자 공정 기술을 이용한 미세패턴 형성 장치를 위하여, 유연
기판에 제1얼라인 마크를 마킹하는 얼라인 마크 생성부, 상기 얼라인 마크 생성부에서 이송되는 상기 유연 기판
에 제2얼라인 마크를 인쇄하며 패턴을 상기 유연 기판에 인쇄하는 인쇄부 그리고 상기 인쇄부에서 인쇄되어 나온
상기 유연 기판에 형성된 상기 제1얼라인 마크와 상기 제2얼라인 마크의 이미지를 획득하는 이미지 획득부를 포
함하는, 롤투롤 인쇄전자 공정 기술을 이용한 미세패턴 형성 장치가 제공된다.
