출원번호 : 10-2017-0096277 (2017년07월28일)
등록번호 : 10-1988116 (2019년06월24일)
특허권자 : 명지대학교 산학협력단
요약 :
버블을 이용한 세정 시스템 및 방법이 개시된다. 상기 세정 시스템은 물이 채워진 챔버 및 상기 챔버 내에서 물에 담가진 세정 장치를 포함한다. 여기서, 상기 세정 장치는 적어도 하나의 채널을 가지고, 세정시 상기 채널 내에는 버블이 형성되며, 상기 버블의 진동에 의해 세정 대상물 상의 파티클이 제거된다.





