불소 처리된 탄소재료를 이용한 고감도 가스센스 및 이의 제조방법

출원번호 : 10-2010-0047322 (출원일: 2010-05-20)

등록번호 : 10-1260457 (등록일: 2013-04-26)

특허권자 : 충남대학교산학협력단

요약 : 불소 처리된 탄소재료를 이용한 고감도 가스센스 및 이의 제조방법이 개시된다. 본 발명에 의한 불소 처리된 탄소재료를 이용한 고감도 가스센서의 제조방법은, (1) 탄소재료를 반응기 내에 안착시키고, 열처리하는 제1단계; (2) 반응기 내에 불소 가스를 주입하여, 제1단계를 통하여 열처리된 탄소재료를 불소 처리하는 제2단계; 및 (3) 상기 제2단계를 통하여 불소 처리된 탄소재료를 실리콘 웨이퍼 전극 사이에 증착시켜 가스센서를 제조하는 제3단계;를 포함하여 이루어진다. 본 발명에 의할 경우, 상온에서도 타깃 가스에 대한 민감도와 응답성이 우수한 가스센서를 제조할 수 있게 된다.

대표청구항 : (1) 탄소재료를 반응기 내에 안착시키고, 열처리하는 제1단계;(2) 반응기 내에 불소 가스를 주입하고, 500 내지 1,000℃의 온도에서 제1단계를 통하여 열처리된 탄소재료를 불소 처리하는 제2단계; 및(3) 분산용액 100 중량부에 상기 제2단계를 통하여 불소 처리된 탄소재료 0.1 내지 50 중량부를 분산시키고, 이를 실리콘 웨이퍼 전극 사이에 증착시켜 가스센서를 제조하는 제3단계;를 포함하여 이루어지는 불소 처리된 탄소재료를 이용한 고감도 가스센스의 제조방법.

상세링크 : http://newsd.wips.co.kr/wipslink/api/dkrdshtm.wips?skey=3513192002957