산화아연/산화티타늄 코어쉘 나노와이어를 이용한 물분해 장치

기계
산화아연/산화티타늄 코어쉘 나노와이어를 이용한 물분해 장치

출원번호 : 10-2017-0066173 (출원일: 2017-05-29)

등록번호 : 10-1950367 (등록일: 2019-02-14)

특허권자 : 충남대학교산학협력단

요약 : 산화아연/산화티타늄 코어쉘 나노와이어를 이용한 물분해 장치가 개시되어 있다. 본 발명은, 물분해 효과를 얻기 위해 작업전극, 기준전극, 상대전극 및 전해질을 포함하는 물분해장치로서, 상기 작업전극은 산화아연 나노와이어에 산화티타늄이 코팅된 코어쉘 나노와이어를 포함하는 것을 특징으로 한다.

대표청구항 : 물분해 효과를 얻기 위해 작업전극, 기준전극, 상대전극 및 전해질을 포함하는 물분해장치로서,상기 작업전극은 산화아연 나노와이어에 산화티타늄이 코팅된 코어쉘 나노와이어를 포함하고, 상기 산화아연-산화티타늄 코어쉘 나노와이어는,산화아연 나노와이어를 제조하는 단계; 상기 산화아연 나노와이어에 산화티타늄 전구체를 공급하는 단계; 산화티타늄 전구체가 열분해 되며 산화티타늄 증기를 생성하는 단계; 및 산화티타늄 증기가 산화아연 나노와이어 표면에 증착되는 단계를 포함하는 공정으로 제조되며,상기 산화아연 나노와이어 제조단계는,실리콘 기판 상부에 탄소 촉매층을 형성하는 단계; 및상기 탄소 촉매층에 산화아연 증기를 열화학 기상 증착방법을 통해서 증착시켜서 다수의 산화아연 나노와이어를 상기 실리콘 기판에 대해 수직방향으로 성장시키는 단계:를 포함하며,상기 탄소 촉매층을 형성하는 단계는,세라믹튜브의 내부에 탄소가루와 실리콘 기판이 담긴 알루미나 보트를 위치시키는 단계;질량 유량 제어기를 통해서 이송가스로서 질소가스를 1 LPM(liter per minute)의 유량으로 유동시키고, 퍼니스의 온도를 1,100 ℃ 이상으로 가열하는 단계; 및이송가스인 질소가스가 탄소가루로부터 생성된 탄소 증기를 통해서 상기 실리콘 기판에 탄소 필름을 코팅하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 산화아연-산화티타늄 코어쉘 나노와이어를 이용한 물분해 장치.

상세링크 : http://newsd.wips.co.kr/wipslink/api/dkrdshtm.wips?skey=3519084000480