스트레처블 다층 그래핀 소자, 이의 제조방법 및 이를 이용한 스트레처블 그래핀 FETStretchable mulity-layer graphene device, method for preparing the same, and Stretchable graphene Field-Effect-Transistor using thereof

출원번호 : 1020200160581 (2020.11.26)

등록번호 : 1024645700000 (2022.11.03)

특허권자 : 충남대학교 산학협력단

요약 :

본 발명은 연신기판 일 면에 그래핀 적층체가 형성된 다층 그래핀 소자에 있어서, 상기 그래핀 적층체는 티타늄(Ti) 버퍼층, 상기 티타늄(Ti) 버퍼층 일 면에 형성된 제1 Ti-O-C 브릿지층, 상기 제1 Ti-O-C 브릿지층 일 면에 성장된 그래핀 박막, 및 상기 그래핀 박막 위에 형성된 제2 Ti-O-C 브릿지층을 포함하는 구조가 순차적으로 반복 적층되는 것을 특징으로 하는, 스트레처블 다층 그래핀 소자에 관한 것이다.

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