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실리콘 웨이퍼를 이용한 금속 전극의 패턴 형성 방법 Method for forming pattern of metal electrode using silicon wafer

판매 대리인 : 기율특허

전화번호 : 02-782-1004

메일주소 : kiyul@kiyul.co.kr

판매특허요약 : 실리콘 웨이퍼를 이용한 금속 전극의 패턴 형성 방법에 관한 것

가격 : 협의가능

SKU: 한밭대학교 산학협력단 카테고리: ,

출원번호 : 10-2019-0076411 (2019년06월26일)

등록번호 : 10-2214690 (2021년02월04일)

특허권자 : 한밭대학교

요약 : 본 발명에 따른 금속 전극의 패턴 형성 방법은 전극의 찢어짐, 휘어짐, 뒤틀림 등의 전극의 요구되지 않
는 변형을 방지하면서 대면적의 금속 전극에도 보다 미세 패턴을 보다 정밀하게 형성할 수 있고, 요구되는 형상
의 패턴이 형성된 금속 전극을 대량으로 제조함에 있어 재현성이 우수하며, 패턴 형성을 위한 마스터 기판의 내
구성 및 안정성이 우수한 효과가 있다.

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