압전소자의 제조 방법

출원번호 : 10-2016-0021823 (출원일: 2016-02-24)

등록번호 : 10-1759861 (등록일: 2017-07-14)

특허권자 : 충남대학교산학협력단

요약 : 본 발명은 베이스기판(100)을 준비하는 제1단계; 바나듐이 도핑된 산화아연(Vanadium-doped ZNO)으로 이루어지는 나노시트와 폴리머용액을 서로 혼합한 나노코팅액(20)을 베이스기판(100)의 일면에 스핀코팅하여 나노코팅층(200)을 형성하는 제2단계; 상기 베이스기판(100)의 나노코팅층(200)과 다른 베이스기판(100)의 나노코팅층(200)을 서로 접합하여 적층체를 생성하는 제3단계; 및 상기 적층체를 가열하여 압전소자를 제조하는 제4단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 압전소자의 제조 방법에 관한 것이다.

대표청구항 : 한 쌍의 베이스기판(100)을 준비하는 제1단계;하나의 베이스 기판(100)의 일면에 바나듐이 도핑된 산화아연(Vanadium-doped ZNO)으로 이루어지는 나노시트와 폴리머용액을 서로 혼합한 나노코팅액(20)을 스핀코팅하여 판 형상의 나노코팅층(200)을 형성하는 제2단계;다른 하나의 베이스기판(100)의 일면에 상기 나노코팅액(20)을 스핀코팅하여 나노코팅층(200)을 형성하는 제3단계; 상기 하나의 베이스기판(100)의 나노코팅층(200)과 상기 다른 하나의 베이스기판(100)의 나노코팅층(200)이 서로 대면하도록 배치되되, 상기 폴리머용액의 점성에 의해 서로 접합되어 적층체를 생성하는 제4단계; 및상기 적층체를 가열하여 압전소자(1000)를 제조하는 제5단계;를 포함하며,상기 나노시트가 폴리머용액의 내부에 수용되는 것을 특징으로 하는 압전소자의 제조 방법.

상세링크 : http://newsd.wips.co.kr/wipslink/api/dkrdshtm.wips?skey=3517294000707