유연 박막 자기저항 센서 및 그 제조 방법

출원번호 : 10-2011-0071344 (출원일: 2011-07-19)

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특허권자 : 충남대학교산학협력단

요약 : 자성다층 박막을 유연성을 갖는 필름에 증착 및 패터닝 하여 형성된 박막 자기저항 센서 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 유연 기판, 상기 유연 기판상에 마련된 전극층, 상기 유연 기판과 전극층상에 형성된 자기 센서층 및 상기 자성층의 일부 및 자기 센서층의 전부를 덮는 보호층을 포함하는 구성을 마련한다. 상기와 같은 박막 자기저항 센서 및 그 제조 방법을 이용하는 것에 의해, 자기 센서의 제작시 보호층의 두께를 감소시킬 수 있으므로, 센서의 감도를 증가시킬 수 있다.

대표청구항 : 유연 기판,상기 유연 기판상에 마련된 전극층,상기 유연 기판과 전극층 상에 형성된 자기 센서층 및 상기 전극층의 일부 및 자기 센서층의 전부를 덮는 보호층을 포함하는 것을 특징으로 하는 유연 박막 자기저항 센서.

상세링크 : http://newsd.wips.co.kr/wipslink/api/dkrdshtm.wips?skey=3513072000225