일체형 전압 및 전류 센서를 구비하는 플라즈마 장치, 및 플라즈마 장치에서의 전압 및 전류 모니터링 방법 PLASMA DEVICE WITH INTEGRATED VOLTAGE AND CURRENT SENSOR, AND METHOD FOR MONITORING VOLTAGE AND CURRENT OF PLASMA DEVICE

출원번호 :  1020200152308 (2020.11.13)

등록번호 : 1024635540000 (2022.11.01)

특허권자 : 충남대학교 산학협력단

요약 :

본 발명은 일체형 전압 및 전류 센서를 구비하는 플라즈마 장치, 및 플라즈마 장치에서의 전압 및 전류 모니터링 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 완벽 부유된 토로이달 코일을 포함하는 일체형 전압 및 전류 센서를 임피던스 정합기의 출력단과 소스부 사이에 구비하고, 상기 토로이달 코일의 양 끝단의 전압을 측정하여 상기 소스부에 인가되는 고주파(RF) 신호의 전압 및 전류를 계산함으로써, 센서 사이즈의 소형화가 가능하고 크로스토크 최소화를 통해 챔버의 소스부에 인가되는 정확한 전압 및 전류의 실시간 모니터링이 가능한 일체형 전압 및 전류 센서를 구비하는 플라즈마 장치, 및 플라즈마 장치에서의 전압 및 전류 모니터링 방법을 제공한다.