전자빔 조사를 이용한 기체상 나노입자의 제조장치 및 제조방법

출원번호 : 10-2011-0134671 (출원일: 2011-12-14)

등록번호 : 10-1358799 (등록일: 2014-01-28)

특허권자 : 충남대학교산학협력단

요약 : 전구체 발생장치와 전자빔 반응장치를 구비하여 상온 상압에서 전자빔 조사를 이용한 기체상 나노입자의 제조장치 및 제조방법에 관한 것으로, 작동 유체에 의해 전구체를 발생시키는 전구체 발생부 및 상기 전구체 발생부에 결합되고, 상기 전구체 발생부로부터 유입된 전구체 증기를 분해하여 나노입자를 형성하는 전자빔 처리부를 포함하는 구성을 마련한다. 상기와 같은 전자빔 조사를 이용한 기체상 나노입자의 제조장치 및 제조방법을 이용하는 것에 의해, 모든 장치가 상온 상압에서 운용하면서 작동 유체에 의해 전구체 발생기에서 전구체 증기를 발생시키며 전구체 발생기로부터 유입되는 전구체 증기가 전자빔 반응기에서 나노입자를 형성할 수 있다.

대표청구항 : 작동 유체에 의해 전구체 증기를 발생시키는 전구체 발생부 및상기 전구체 발생부에 결합되고, 상기 전구체 발생부로부터 유입된 전구체 증기를 분해하여 나노입자를 형성하는 전자빔 처리부를 포함하고,상기 전구체 발생부는 작동 유체의 유량을 조절하는 제1 유량 조절기 및 상기 제1 유량 조절기에서 공급된 작동 유체에서 전구체 증기를 생성하는 전구체 발생기를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노입자의 제조장치.

상세링크 : http://newsd.wips.co.kr/wipslink/api/dkrdshtm.wips?skey=3514082000408