초고주파를 이용한 교차 주파수 플라즈마 진단 방법

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특허권자 : 충남대학교산학협력단

요약 : 본 발명의 일 실시예에 따른 교차 주파수 플라즈마 진단 방법은, 플라즈마가 없는 상태에서 네트워크 분석기의 제1 포트에 연결된 방사 안테나에 초고주파수의 구동 주파수를 스캔하면서 초고주파를 방사하고, 상기 네트워크 분석기의 제2 포트에 연결된 수신 안테나를 통하여 주파수에 따른 제1 투과 계수를 측정하는 단계; 플라즈마가 있는 상태에서 네트워크 분석기의 제1 포트에 연결된 방사 안테나에 초고주파수의 구동 주파수를 스캔하면서 초고주파를 방사하고, 상기 네트워크 분석기의 제2 포트에 연결된 수신 안테나를 통하여 주파수에 따른 제2 투과 계수를 측정하는 단계; 및 상기 제1 투과 계수과 상기 제2 투과 계수가 일치하는 교차 주파수를 산출하는 단계를 포함한다.

대표청구항 : 플라즈마가 없는 상태에서 네트워크 분석기의 제1 포트에 연결된 방사 안테나에 초고주파수의 구동 주파수를 스캔하면서 초고주파를 방사하고, 상기 네트워크 분석기의 제2 포트에 연결된 수신 안테나를 통하여 주파수에 따른 제1 투과 계수를 측정하는 단계;플라즈마가 있는 상태에서 네트워크 분석기의 제1 포트에 연결된 방사 안테나에 초고주파수의 구동 주파수를 스캔하면서 초고주파를 방사하고, 상기 네트워크 분석기의 제2 포트에 연결된 수신 안테나를 통하여 주파수에 따른 제2 투과 계수를 측정하는 단계; 및상기 제1 투과 계수과 상기 제2 투과 계수가 일치하는 교차 주파수를 산출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 교차 주파수 플라즈마 진단 방법.

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