칼코겐화물-비전도체 나노복합소재 박막을 포함하는 상변화소자 및 그 제조방법 phase change device having chalcogenide-nonconductor nanocomposite material thin film and method of manufacturing the same

출원번호 : 10-2016-0117122 (2016년09월12일)

등록번호 : 10-1922771 (2018년월11일21)

특허권자 : 한밭대학교

요약 : 본 발명은 칼코겐화물의 상변화 특성을 이용하는 상변화 소자 및 그 제조방법으로서, 특히 칼코겐화물과 비전도
체를 조합한 나노복합소재 박막의 줄 발열 촉진 특성으로 인해 칼코겐화물의 상변화에 필요한 전력이 감소되는
상변화 소자에 관한 것이다.
또한, 본 발명은 비전도체 입자의 스핀코팅과 칼코겐화물의 리플로우 특성을 이용하여 칼코겐화물-비전도체 나노
복합소재 박막을 형성하는 방법에 관한 것이다.