플라즈마 공정 장비 접지 전압 모니터링을 통한 아킹 예보 및 모니터링 시스템

출원번호 : 10-2020-0065137 (출원일: 2020-05-29)

등록번호 : 10-2376991 (등록일: 2022-03-16)

특허권자 : 충남대학교산학협력단

요약 : 본 발명은 플라즈마 공정 장비 접지 전압 모니터링을 통한 아킹 예보 및 모니터링 시스템에 관한 것이다. 더욱 상세하게는, 플라즈마 발생부에서 발생되는 아킹을 예보 및 모니터링하는 아킹 예보 및 모니터링 시스템에 있어서, 플라즈마 발생부에서 발생되는 아킹을 예보 및 모니터링하는 아킹 예보 및 모니터링 시스템에 있어서, 상기 플라즈마 발생부에서 연장되는 접지부에 연결되어 접지부(2)의 전압을 측정하고, 측정된 전압을 전압신호로 전송하는 프로브 헤드; 및 상기 프로브 헤드에서 전송된 전압신호를 이용하여 아킹 발생의 예보에 필요한 예보신호 및 모니터링에 필요한 모니터링신호를 출력하도록 구성되는 고속검출부가 포함되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 플라즈마 공정에서 발생되는 아킹을 예보 및 모니터링할 수 있도록 구성됨으로써, 플라즈마 공정에서 발생되는 아킹에 대해 빠르게 대처할 수 있도록 구성되는 효과가 있다.

대표청구항 : 플라즈마 발생부에서 발생되는 아킹을 예보 및 모니터링하는 아킹 예보 및 모니터링 시스템에 있어서,상기 플라즈마 발생부(1)의 하우징 혹은 플라즈마 발생부(1)에서 연장되는 접지부(2) 혹은 플라즈마 발생부(1)와 접지부(2) 사이에 연결되어 전압을 측정하고, 측정된 전압을 전압신호로 전송하는 프로브 헤드(100); 및상기 프로브 헤드(100)에서 전송된 전압신호를 이용하여 아킹 발생의 예보에 필요한 예보신호 및 모니터링에 필요한 모니터링신호를 출력하도록 구성되는 고속검출부(200);가 포함되며,상기 고속검출부(200)에는,상기 프로브 헤드(100)로부터 전송된 전압신호를 분기한 어느 하나의 데이터를 수집하여 트리거링하는 제1트리거(211)를 포함하며, 예보신호를 출력하는 예보모듈(210); 및상기 프로브 헤드(100)로부터 전송된 전압신호를 분기한 다른 하나의 데이터를 수집하여 트리거링하는 제2트리거(221) 및 상기 제2트리거(221)로부터 트리거링된 신호를 아킹 파형 신호처리하여 모니터링신호를 출력하는 신호처리부(222)가 포함되는 모니터링모듈(220);이 포함되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 공정 장비 접지 전압 모니터링을 통한 아킹 예보 및 모니터링 시스템.

상세링크 : http://newsd.wips.co.kr/wipslink/api/dkrdshtm.wips?skey=3522132000855