향상된 댐핑 기능을 갖는 수평 리니어 모터 스테이지 장치 및 그 모터 스테이지 장치를 이용한 댐핑 방법(Linear motor stage apparatus with improved damping and damping method thereof)

출원번호 : 10-2017-0184735 (2017.12.29)

등록번호 : 10-18421460000 (2018.03.20)

요약 : 본 발명은 향상된 댐핑 기능을 갖는 수평 리니어 모터 스테이지 장치 및 그 모터 스테이지 장치를 이용한 댐핑 방법에 관한 것이다.

1020170184735B1