DLC 필름 제조방법 A DLC FILM FABRICATION METHOD

출원번호 : 10-2014-0043734 (2014년04월11일)

등록번호 : 10-1608473 (2016년03월28일)

특허권자 : 울산과학기술원

요약 :

본 발명은, 증착대상물에 형성된 DLC 필름에 있어서, DLC성분의 프로파일 함수 C_DLC 은, x 가 증가함에 따라서 그 함수값이 같거나 증가하는 증가함수이며, SUS 성분의 프로파일 함수 C_SUS는 1-C_DLC 인 DLC 필름을 제공한다.

 

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