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기판 오염물 분석 장치 및 기판 오염물 분석 방법

 

판매대리인 : 기율특허

전화번호 : 02-782-1004

메일주소 : kiyul@kiyul.co.kr

가격 : 협의

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SKU: 인텔렉추얼 디스커버리-1775710645928 카테고리: , , , ,

출원번호 : 10-2015-0034644

등록번호 : 10-15486320000

요약 : 본 발명은 기판에서 오염물 분석을 위한 장치로, 샘플 용액을 스캔하여 분석기로 이송하며, 감지 센서를 통해 샘플 용액의 정확한 로딩과 손실 방지를 가능하게 한다.

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