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출원번호 : 10-2015-0034644
등록번호 : 10-15486320000
요약 : 본 발명은 기판에서 오염물 분석을 위한 장치로, 샘플 용액을 스캔하여 분석기로 이송하며, 감지 센서를 통해 샘플 용액의 정확한 로딩과 손실 방지를 가능하게 한다.
1020150034644