미세채널용 몰드의 제조방법, 미세채널용 거푸집의 제조방법 및 미세채널이 형성된 블록의 제조방법 Method for manufacturing a mold for a fine channel, method for manufacturing a die for a fine channel, and method for manufacturing a block formed on which a fine channel is formed

출원번호 : 10-2014-0087653 (2014년07월11일)

등록번호 : 10-1608208 (2016년03월28일)

특허권자 : 울산과학기술원

요약 :

본 발명은, 미세채널용 몰드의 제조방법, 미세채널용 거푸집의 제조방법 및 미세채널이 형성된 블록의 제조방법에 관한 것으로, 감광물질층이 형성된 기재 상에, 포토 리소그래피(photo lithography) 공정을 수행하여, 상기 감광물질층의 깊이 방향을 따라 크로스 링킹 밀도((Cross linking density)에 대한 그래디언트(gradient)를 형성시켜서 노치를 형성하는 단계; 상기 감광물질층에서 상기 노치에 의하여 미세채널에 대응되는 크랙이 진행되는 것이 허용되지 않는 영역에만 노광을 수행하는 단계; 상기 감광물질층을 현상하여, 상기 노치로부터 상기 미세채널에 대응되는 상기 크랙을 진행시키는 단계를 포함한다.

 

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