출원번호 : 10-2019-0133497 (2019년10월25일)
등록번호 : 10-2167285 (2020년10월13일)
특허권자 : 명지대학교 산학협력단
요약 : 액적 제거 효율이 향상된 클리닝 기기가 개시된다. 상기 클리닝 기기는 제 1 전극들 및 상기 제 1 전극들을 덮는 제 1 절연막을 가지는 제 1 층 및 상기 제 1 절연막 위에 배열되는 제 2 전극들 및 상기 제 2 전극들을 덮는 제 2 절연막을 가지는 제 2 층을 포함하며, 상기 제 1 전극들은 제 1 간격을 가지고 배열되고, 상기 제 2 전극들은 제 2 간격을 가지고 배열된다. 여기서, 상기 클리닝 기기의 표면과 상기 액적이 만나는 계면인 삼상접선들 중 적어도 하나의 직하부에 상기 제 1 층의 제 1 전극이 배열되고, 다른 삼상접선의 직하부에 상기 제 2 층의 제 2 전극이 배열된다.
1020190133497
